產品詳情
重塑微流控制造范式：非接觸式CO2激光加工系統(tǒng)實現(xiàn)芯片零損傷精密制造
在微流控芯片邁向產業(yè)化之際，傳統(tǒng)機械加工導致的材料應力損傷、化學蝕刻引發(fā)的污染已成為行業(yè)瓶頸。我司全自動CO2激光雕刻切割系統(tǒng)（非接觸式微流控芯片激光加工設備），憑借非接觸式加工技術，解決PMMA、PDMS、石英玻璃等多元材料的微流控芯片制造難題，實現(xiàn)無應力、無污染、跨材料的一站式精密加工。
非接觸式激光加工核心價值
1. 零物理損傷
激光束無工具磨損式加工，消除機械應力導致的材料形變（如PDMS拉伸變形、石英微裂紋、亞克力邊緣碎裂），微通道結構完整性提升99%，保障芯片功能可靠性。
2. 全材料兼容
智能能量控制系統(tǒng)動態(tài)匹配材料特性：
熱敏材料（PDMS）：脈沖調制技術控制熱影響區(qū)＜10μm，避免硫化失效
硬脆材料（石英）：高功率脈沖瞬時氣化，實現(xiàn)30μm線寬無錐度雕刻
聚合物（PMMA）：優(yōu)化波長吸收率，切口透光度＞92%
單臺設備覆蓋90%微流控芯片基材
3. 潔凈級生產環(huán)境
全封閉加工艙體+負壓除塵系統(tǒng)：
隔絕外部污染物，滿足Class 1000潔凈度要求
HEPA過濾納米級加工微粒（PDMS硅氧烷/石英硅塵）
氮氣輔助吹掃防止熔融物殘留，避免生物檢測交叉污染
工藝升級
? 效率提升：單芯片加工提速5-8倍（PDMS模具30分鐘完成，較光刻工藝節(jié)約48小時）
? 成本降低60%：淘汰掩模版、光刻膠等耗材，減少潔凈室投入
? 良率突破：跨材料加工平均良率達98.5%（ISO 14644-1標準）
智能控制系統(tǒng)
三軸聯(lián)動精密平臺：重復定位精度高，支持曲面自適應加工
CCD視覺定位系統(tǒng)：自動識別材料邊界，補償熱變形誤差
實時溫控模塊：紅外監(jiān)測加工區(qū)溫度，PDMS加工＜80℃/石英加工＜150℃
數(shù)字孿生界面：加工參數(shù)云存儲，一鍵復現(xiàn)工藝標準
賦能微流控全產業(yè)鏈
從研發(fā)端快速原型驗證（24小時完成設計迭代），到量產端柔性生產（支持4/6英寸晶圓標準化加工），本設備提供：
→ 微模具雕刻 → 芯片輪廓切割 → 表面親疏水改性 → 微結構打標
全流程非接觸式解決方案，已應用于器官芯片、即時診斷(POCT)、基因測序等領域。
讓每一片微流控芯片，都誕生于潔凈的精密制造！
在微流控芯片邁向產業(yè)化之際，傳統(tǒng)機械加工導致的材料應力損傷、化學蝕刻引發(fā)的污染已成為行業(yè)瓶頸。我司全自動CO2激光雕刻切割系統(tǒng)（非接觸式微流控芯片激光加工設備），憑借非接觸式加工技術，解決PMMA、PDMS、石英玻璃等多元材料的微流控芯片制造難題，實現(xiàn)無應力、無污染、跨材料的一站式精密加工。
非接觸式激光加工核心價值
1. 零物理損傷
激光束無工具磨損式加工，消除機械應力導致的材料形變（如PDMS拉伸變形、石英微裂紋、亞克力邊緣碎裂），微通道結構完整性提升99%，保障芯片功能可靠性。
2. 全材料兼容
智能能量控制系統(tǒng)動態(tài)匹配材料特性：
熱敏材料（PDMS）：脈沖調制技術控制熱影響區(qū)＜10μm，避免硫化失效
硬脆材料（石英）：高功率脈沖瞬時氣化，實現(xiàn)30μm線寬無錐度雕刻
聚合物（PMMA）：優(yōu)化波長吸收率，切口透光度＞92%
單臺設備覆蓋90%微流控芯片基材
3. 潔凈級生產環(huán)境
全封閉加工艙體+負壓除塵系統(tǒng)：
隔絕外部污染物，滿足Class 1000潔凈度要求
HEPA過濾納米級加工微粒（PDMS硅氧烷/石英硅塵）
氮氣輔助吹掃防止熔融物殘留，避免生物檢測交叉污染
工藝升級
? 效率提升：單芯片加工提速5-8倍（PDMS模具30分鐘完成，較光刻工藝節(jié)約48小時）
? 成本降低60%：淘汰掩模版、光刻膠等耗材，減少潔凈室投入
? 良率突破：跨材料加工平均良率達98.5%（ISO 14644-1標準）
智能控制系統(tǒng)
三軸聯(lián)動精密平臺：重復定位精度高，支持曲面自適應加工
CCD視覺定位系統(tǒng)：自動識別材料邊界，補償熱變形誤差
實時溫控模塊：紅外監(jiān)測加工區(qū)溫度，PDMS加工＜80℃/石英加工＜150℃
數(shù)字孿生界面：加工參數(shù)云存儲，一鍵復現(xiàn)工藝標準
賦能微流控全產業(yè)鏈
從研發(fā)端快速原型驗證（24小時完成設計迭代），到量產端柔性生產（支持4/6英寸晶圓標準化加工），本設備提供：
→ 微模具雕刻 → 芯片輪廓切割 → 表面親疏水改性 → 微結構打標
全流程非接觸式解決方案，已應用于器官芯片、即時診斷(POCT)、基因測序等領域。
讓每一片微流控芯片，都誕生于潔凈的精密制造！
